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產(chǎn)品型號：IBE/RIE干法刻蝕
產(chǎn)品代碼：
產(chǎn)品價格：400000
計量單位：臺
折 扣 率： 0
最后更新：2025-05-13
關(guān) 注 度：562
生產(chǎn)企業(yè)：成都超邁光電科技有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹 超邁光電大口徑刻蝕機主要用于半導體刻蝕，能夠兼容離子束刻蝕和反應離子刻蝕功能，使用氣態(tài)化學刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應來進行刻蝕，并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品，通過真空系統(tǒng)排出，特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。
刻蝕設備在半導體行業(yè)中占據(jù)著至關(guān)重要的地位，可以實現(xiàn)納米級的精密刻蝕。對復雜微結(jié)構(gòu)的器件加工，微電子器件的制造提供重要支持，在芯片領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
成都超邁光電科技有限公司，為國家高新技術(shù)企業(yè)、國家標準擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟雙百企業(yè)，已通過GB/T與GJB雙體系認證。
公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升，具有全系列涂層服務裝備和檢測手段，已申請國家專利60余項，授權(quán)專利與軟件著作權(quán)50余項，擬定國家標準2項，行業(yè)標準1項，為中國物理學會固體缺陷專家委員單位，全國電熱裝備標準化委員會單位，已形成工業(yè)級、科研級和特殊級三大產(chǎn)品系列，公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園，一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設施建設，具備強大的研發(fā)和制造能力。 |
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